表面輪廓儀的工作效率是如何提高的?
表面輪廓儀采用觸針與被測樣品直接接觸的方式來測定表面輪廓,獲得表面輪廓曲線,能夠測量臺階高度、寬度、樣品表面粗糙度及相關(guān)參數(shù),并能進行應力測量。測量力500μN范圍內(nèi)可自由設(shè)定,系統(tǒng)自動水平補正,適用于半導體、微機電、材料、物理等領(lǐng)域的研究。
表面輪廓儀能夠在同一測試平臺上運行多種測試,產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進行不同模式的實驗檢測,模式切換可實現(xiàn)全自動化。多項技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢。該項整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析,也可以減少維護成本,從而提高效率。
表面輪廓儀產(chǎn)品功能:
1)具備各種類型樣品表面微觀形貌的3D輪廓重建與測量功能;
2)具備表面粗糙度和微觀輪廓的檢測功能,粗糙度范圍涵蓋0.1nm到數(shù)十微米的級別;
3)具備校平、去除形狀、去噪、濾波等數(shù)據(jù)處理功能;
4)具備粗糙度分析、輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、功能分析等表面參數(shù)分析功能;
5)具備自動對焦、自動測量、自動多區(qū)域測量、自動拼接測量等自動化功能;
6)具備一鍵分析、多文件分析等快速、批量分析功能;
7)具備word、excel等數(shù)據(jù)報表導出功能。
表面輪廓儀采用的是非接觸式測量技術(shù),具有亞納米測量精度(所有放大倍數(shù)下),可以更快更好地測量各種樣品表面,是一款具有非常高投資回報率的產(chǎn)品。滿足各種應用需求,包括平面度,粗糙度和波紋度,薄膜,臺階高度,適用于幾乎任何材質(zhì)表面。